華中科技大學(xué)攻克芯片光刻膠關(guān)鍵技術(shù)

摘要： <正>近日，華中科技大學(xué)武漢光電國(guó)家研究中心團(tuán)隊(duì)在國(guó)內(nèi)率先攻克合成光刻膠所需的原料和配方，助推我國(guó)芯片制造關(guān)鍵原材料突破瓶頸。其研發(fā)的T150A光刻膠系列產(chǎn)品已通過(guò)半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)了原材料全部國(guó)產(chǎn)、配方全自主設(shè)計(jì)，有望開(kāi)創(chuàng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面。光刻膠是一種感光材料，用于芯片制造的光刻環(huán)節(jié)，工作原理類似于照相機(jī)的膠卷曝光。芯片制造時(shí)，會(huì)在晶圓上涂上光刻膠，在掩膜版上繪... （共1頁(yè)）