基于弧形邊緣結(jié)構(gòu)上極板的數(shù)字微流控芯片系統(tǒng)

摘要： 為降低微尺度液滴在介電潤(rùn)濕(EWOD)基板上的轉(zhuǎn)移難度，提出了一種基于弧形邊緣結(jié)構(gòu)上極板的數(shù)字微流控芯片系統(tǒng)，可順利完成液滴在開放區(qū)和封閉區(qū)之間的輸運(yùn)。從數(shù)字微流控芯片的基本原理出發(fā)，介紹了該芯片的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、制造工藝及平臺(tái)構(gòu)建，并對(duì)此系統(tǒng)中液滴在兩區(qū)運(yùn)動(dòng)時(shí)兩極板間距、液滴體積及上極板橫向位置對(duì)驅(qū)動(dòng)電壓的影響進(jìn)行了研究。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：基于氧化銦錫(ITO)玻璃的上極板與基于鉻板的... （共8頁(yè)）