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一種小體積MEMS傳感器數(shù)據(jù)記錄儀

微納電子技術(shù) 頁(yè)數(shù): 8 2025-01-14
摘要: 對(duì)飛行器發(fā)射航行階段的數(shù)據(jù)測(cè)試是目前研究的重要方向。數(shù)據(jù)記錄儀作為一種可裝載的數(shù)據(jù)采集裝置,具有重要的研究?jī)r(jià)值。針對(duì)小型飛行器的數(shù)據(jù)采集工作,提出了一種具有小體積、低功耗、高性能以及高抗過(guò)載能力的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)傳感器數(shù)據(jù)記錄儀。它能夠?qū)θS角速度、加速度以及磁場(chǎng)數(shù)據(jù)進(jìn)行同步測(cè)量。數(shù)據(jù)計(jì)算和實(shí)驗(yàn)測(cè)試結(jié)果表明,記錄儀總體積為22.4 cm~3,工作狀態(tài)下的功耗僅為0.6... (共8頁(yè))

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