基于WOA優(yōu)化FNN-PID的單晶硅加熱爐爐溫控制

摘要： 針對單晶硅加熱爐爐溫控制的大慣性、強(qiáng)耦合、長調(diào)節(jié)時(shí)間等問題，提出了基于鯨魚優(yōu)化算法(WOA)的優(yōu)化模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(FNN)比例-積分-微分(PID)算法。通過測試實(shí)驗(yàn)裝置的溫度推算出模型表達(dá)式，采用WOA進(jìn)行迭代尋優(yōu)，得到合適的PID參數(shù)，利用FNN對PID參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整，以實(shí)現(xiàn)動態(tài)解耦。通過仿真軟件進(jìn)行仿真驗(yàn)證，并在搭建的模型上分別進(jìn)行階躍響應(yīng)實(shí)驗(yàn)和信號跟隨實(shí)驗(yàn)。仿真結(jié)果表明... （共9頁）