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量子點(diǎn)電容氣敏效應(yīng)研究及其傳感器芯片設(shè)計(jì)

傳感器與微系統(tǒng) 頁(yè)數(shù): 5 2024-12-02
摘要: 量子點(diǎn)具有晶粒尺寸小、比表面積大、表面活性位點(diǎn)多的特點(diǎn),是低維氣敏材料領(lǐng)域的研究前沿。然而,受量子限域效應(yīng)的制約,量子點(diǎn)薄膜電阻通常較高,影響氣體傳感器的實(shí)用性。本文以硫化鉛量子點(diǎn)室溫氣敏材料為研究對(duì)象,在陶瓷襯底上制備出量子點(diǎn)薄膜,分別對(duì)其薄膜電阻與電容的氣敏效應(yīng)進(jìn)行了測(cè)試與分析。研究結(jié)果表明:量子點(diǎn)薄膜電容同樣具有室溫二氧化氮(NO2)氣敏效應(yīng)。以此為基礎(chǔ),提出融合量子點(diǎn)... (共5頁(yè))

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