可切換/可調諧MEMS諧振器綜述

摘要： 多頻段、多模式通信系統(tǒng)需要高精度、多頻率可調、穩(wěn)定可靠的時鐘器件作為系統(tǒng)的頻率參考源，這類器件直接影響了無線通信的整體性能。MEMS諧振器作為時鐘器件應用于通信技術，具有高可靠性、高穩(wěn)定性、低功耗等優(yōu)點，特別是可調諧MEMS諧振器在具備單頻諧振器的特點之外，還具有多頻率、多模態(tài)可切換的特點。此外，諧振器還能夠用于制作多波段濾波器、傳感器、開關等器件，在射頻(RF)通信、無線傳感... （共6頁）