粗微疊層式硅片臺(tái)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)MIMO前饋控制
中國(guó)電機(jī)工程學(xué)報(bào)
頁數(shù)： 11 2024-05-06
摘要： 光刻機(jī)中承載晶圓進(jìn)行圖像曝光的硅片臺(tái)是一個(gè)典型的多輸入多輸出(multi-input multi-output,MIMO)超精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，MIMO前饋控制技術(shù)是抑制各自由度耦合誤差的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。針對(duì)光刻機(jī)粗微疊層式結(jié)構(gòu)的硅片臺(tái)，文中基于主從控制架構(gòu)，提出一種微動(dòng)臺(tái)和粗動(dòng)臺(tái)MIMO前饋控制方法。該前饋采用線性參數(shù)化結(jié)構(gòu)，以微分單元為基函數(shù)，將控制器的參數(shù)整定問題轉(zhuǎn)化為一個(gè)凸優(yōu)化問題... （共11頁）
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