基于數(shù)字聲音重建的靜電MEMS揚(yáng)聲器設(shè)計(jì)

摘要： 針對(duì)目前基于數(shù)字聲音重建技術(shù)的揚(yáng)聲器再現(xiàn)聲音動(dòng)態(tài)范圍窄、失真嚴(yán)重的問題，設(shè)計(jì)了一種響應(yīng)速度快、聲學(xué)輸出可線性相加的靜電MEMS揚(yáng)聲器。該揚(yáng)聲器采用了包括雙背板、懸臂梁和緩沖錐的復(fù)合式振膜結(jié)構(gòu)，顯著降低了揚(yáng)聲器的振膜剛度和提高了振動(dòng)自由度，從而優(yōu)化了揚(yáng)聲器的工作效率并減少了響應(yīng)時(shí)間。利用Comsol Multiphysics軟件對(duì)揚(yáng)聲器進(jìn)行幾何結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化和性能仿真，確定當(dāng)揚(yáng)聲器... （共9頁）