基于幅-相檢測雙頻自動阻抗匹配器仿真分析

摘要： 先進半導體制程中需要對等離子體離化率和轟擊能量進行精準控制，傳統(tǒng)單頻系統(tǒng)難以實現(xiàn)上述目標，進而提出復頻信號控制。基于對雙頻射頻電源系統(tǒng)的進一步需求，開發(fā)雙頻匹配器以便實現(xiàn)在不同頻率下的阻抗匹配具有重要的意義。文章基于二極管幅-相檢測電路，設計一款雙頻自動阻抗匹配器電路，并分別進行檢測模組、匹配架構以及尋優(yōu)算法等相關機理分析。通過研究表明，Urms可以表征射頻電源與腔室之間的匹配... （共7頁）