基于氧化釩薄膜的雙層紅外焦平面陣列的設計與仿真

摘要： 隨著紅外探測器對高靈敏度、快速響應、低成本等性能要求日益增加，新型非制冷型微測輻射熱計引起了人們極大關注與興趣。設計了雙層傘狀鏤空吸收層的微測輻射熱計單元結構，對不同結構的性能進行了仿真分析。研究了吸收層厚度和面積對紅外吸收率、熱時間常數以及電壓響應率的影響。結果表明，70 nm厚度的雙層傘狀結構吸收層紅外吸收率達82.5%以上。優(yōu)化后的設計模型，吸收層面積106.4μm~2、... （共8頁）