IC器件表面缺陷多光譜圖像特征融合檢測(cè)方法
儀器儀表學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù)： 10 2024-10-25
摘要： 針對(duì)IC器件表面輕微缺陷在傳統(tǒng)的像素級(jí)融合檢測(cè)中容易被產(chǎn)生的冗余噪聲淹沒(méi)，干擾缺陷特征的提取，且在光照不穩(wěn)定的復(fù)雜檢測(cè)場(chǎng)景中不能夠自適應(yīng)調(diào)節(jié)可見(jiàn)光圖像與紅外圖像對(duì)缺陷檢測(cè)任務(wù)貢獻(xiàn)度的問(wèn)題，本文提出基于多光譜圖像特征融合的IC器件表面缺陷檢測(cè)方法，采用中期融合策略，設(shè)計(jì)了多光譜圖像特征融合模塊(MIFF),在YOLO框架下建立雙路特征提取通道，構(gòu)建多光譜圖像特征融合端對(duì)端的YOL... （共10頁(yè)）
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