雙頻磁場(chǎng)分時(shí)激勵(lì)的新型單列絕對(duì)式直線時(shí)柵位移傳感器

摘要： 針對(duì)小體積安裝、高精度直線位移測(cè)量需求，基于雙頻磁場(chǎng)分時(shí)激勵(lì)方案和外差降頻原理，設(shè)計(jì)了一種新型單列絕對(duì)式直線時(shí)柵位移傳感器結(jié)構(gòu)，解決提高傳感器激勵(lì)信號(hào)頻率來獲得高信噪比與高分辨力之間的矛盾。首先，建立平面線圈瞬態(tài)磁場(chǎng)耦合模型，構(gòu)建單列絕對(duì)式直線時(shí)柵測(cè)量模型及其傳感機(jī)理，其對(duì)極數(shù)互質(zhì)絕對(duì)位置解算方案避免實(shí)際使用中測(cè)量誤差對(duì)解算結(jié)果的影響；通過電磁場(chǎng)仿真對(duì)比分析了不同形狀感應(yīng)線圈與... （共15頁）