新型集成隱埋齊納二極管的研制及穩(wěn)定性研究

摘要： 介紹了一種采用40 V高壓雙極工藝制作的新型集成隱埋齊納二極管的穩(wěn)定性研究。這種新型隱埋齊納二極管擊穿電壓值可調(diào)，齊納擊穿區(qū)避開表面，隱埋在硅體內(nèi)，且內(nèi)阻小、噪聲低。首先分析了40 V高壓雙極工藝現(xiàn)有的次表面集成齊納二極管長期穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性不足的原因，接著介紹了新型集成隱埋齊納二級管的工作機(jī)理。對新型集成隱埋齊納二極管開展了老化試驗(yàn)，通過分析試驗(yàn)數(shù)據(jù)驗(yàn)證了新型集成隱埋齊納管結(jié)... （共7頁）