基于光強輪廓結構的偏振無關高衍射效率二維光柵（特邀）

摘要： 針對目前二維光柵設計結構單一、與實際結構不匹配的問題，提出一種金屬-介質(zhì)二維光柵。該光柵不僅具有優(yōu)異的偏振無關性和高衍射效率，而且其結構更符合實際制備的形貌。基于雙光束正交曝光單周期干涉場強度分布，構建基于光強輪廓的二維光柵設計結構，采用傅里葉模態(tài)法和粒子群算法對光柵進行優(yōu)化設計。結果表明，最優(yōu)參數(shù)下，設計的二維光柵在波長為780 nm處以Littrow角入射時，橫電、橫磁偏振... （共9頁）