多晶金剛石散熱片制備工藝研究

摘要： 通過微波等離子體化學(xué)氣相沉積（Microwave plasma chemical vapor deposition, MPCVD）方法制備了不同工藝條件下的多晶金剛石散熱片，并對其熱導(dǎo)率、翹曲、表面形貌、晶體取向和拉曼光譜進行測試和分析。結(jié)果表明，甲烷濃度和生長溫度對金剛石生長速率和品質(zhì)都有較大影響，適當(dāng)降低甲烷濃度并提高生長溫度有助于制備低翹曲、高熱導(dǎo)率的高品質(zhì)多晶金剛石散熱... （共5頁）