化學氣相沉積合成純單層石墨烯的技術綜述

摘要： 石墨烯的各種優(yōu)異性能使其在半導體領域中具有廣闊的應用前景，同時其單原子層的特殊結構使得石墨烯的層數(shù)對其各種特性有著顯著的影響。因此，高質(zhì)量和層數(shù)可控的石墨烯薄膜的規(guī)?；€(wěn)定制備是實現(xiàn)其在微電子、光學和傳感器等領域中各種關鍵器件應用的基礎。目前，在眾多的石墨烯制備方法中，大尺寸、高質(zhì)量石墨烯薄膜制備的最主要手段是化學氣相沉積法。本文綜述了近年來利用化學氣相沉積法合成純單層石墨烯連... （共8頁）