玻璃表面化學蝕刻增強基板上類金剛石薄膜的結(jié)合力與透光率

摘要： 本研究采用一種新方法來改善類金剛石(DLC)薄膜在玻璃表面結(jié)合力弱的問題。首先通過反膠束微乳液刻蝕法在玻璃表面蝕刻出致密連續(xù)的微米凹坑，然后采用磁控濺射依次鍍制SiO₂、SiOC過渡膜及DLC膜。由于薄膜物質(zhì)嵌在連續(xù)的微米凹坑里形成波浪狀的3D膜層，不僅可將應(yīng)用在膜上的作用力分解釋放，而且也大大提高了玻璃表面與膜的接觸面積，從而顯著增強DLC薄膜在玻璃表面的結(jié)合。為了改善薄膜... （共9頁）