MEMS壓阻式壓力傳感器梁-膜-三島膜結(jié)構(gòu)設(shè)計與優(yōu)化

摘要： 傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器雖然靈敏度高但非線性度也高。針對該問題，設(shè)計了一種以敏感膜片為梁-膜-三島結(jié)構(gòu)的新型壓阻式壓力傳感器，通過在敏感膜片上設(shè)計3個方島結(jié)構(gòu)來提高傳感器的線性度和抗過載能力；同時，利用敏感膜片上設(shè)計的短窄梁結(jié)構(gòu)形成應(yīng)力集中區(qū)，保證壓力傳感器的高靈敏度。對結(jié)構(gòu)進(jìn)行仿真分析，建立壓力膜尺寸參數(shù)與力學(xué)性能之間的數(shù)學(xué)模型，對數(shù)學(xué)模型參數(shù)進(jìn)行了分析、擬合和求解，最后求解非... （共10頁）