多頻磁場(chǎng)耦合的絕對(duì)式平面二維時(shí)柵位移傳感器

摘要： 針對(duì)增量式平面二維時(shí)柵位移傳感器上電需找零的問題，設(shè)計(jì)了一種基于多頻磁場(chǎng)耦合的絕對(duì)式平面二維時(shí)柵位移傳感器，其采用不同頻率分時(shí)驅(qū)動(dòng)激勵(lì)電信號(hào)，降低傳感器電路功耗的同時(shí)，使X,Y方向的信號(hào)解耦合二維絕對(duì)位置解算更加簡(jiǎn)單可靠。首先，建立激勵(lì)線圈磁場(chǎng)分布數(shù)學(xué)模型，根據(jù)空間磁場(chǎng)分布特性分析激勵(lì)線圈寬度與耦和氣隙高度的關(guān)系；基于差動(dòng)結(jié)構(gòu)的增量式二維時(shí)柵位移傳感器結(jié)構(gòu)，建立對(duì)極數(shù)互質(zhì)結(jié)構(gòu)的... （共21頁）