MEMS速率陀螺儀力平衡控制回路相位誤差分析與驗證

摘要： 為明晰基于力平衡（Force to Rebalance,FTR）檢測模式的MEMS速率陀螺儀中相位誤差對陀螺儀靜態(tài)和動態(tài)性能的影響規(guī)律，構(gòu)建了包含相位誤差的FTR速率控制回路模型，以此分析不同相位誤差對動靜態(tài)性能的影響。首先，介紹了采用FTR速率模式的陀螺儀基本原理，簡要分析了相位誤差對驅(qū)動模態(tài)的影響。接著，提出了包含反饋通路和前向通路相位誤差的FTR速率控制回路模型，并對該模... （共12頁）

MEMS速率陀螺儀力平衡控制相位誤差零偏性能標(biāo)度因數(shù)帶寬