為了尋找比SF6介電強(qiáng)度更高的氣體,對(duì)很多含鹵族元素的氣體進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。表5-11列出了部分實(shí)驗(yàn)結(jié)果。表中比SF6的(E/p)lim高的那些氣體中,C3F6的(ph)c(電極表面粗糙度臨界值)為13 MPa·μm,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過SF6,這說明對(duì)于電極表面突出物的敏感 (共 2345 字) [閱讀本文] >>
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 為了尋找比SF6介電強(qiáng)度更高的氣體,對(duì)很多含鹵族元素的氣體進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。表5-11列出了部分實(shí)驗(yàn)結(jié)果。表中比SF6的(E/p)lim高的那些氣體中,C3F6的(ph)c(電極表面粗糙度臨界值)為13 MPa·μm,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過SF6,這說明對(duì)于電極表面突出物的敏感 (共 2345 字) [閱讀本文] >>