海量資源,盡在掌握
 對(duì)于外延晶體硅薄膜太陽能電池,最廣泛研究的沉積技術(shù)是熱輔助化學(xué)氣相沉積(ThermallyAssistedChemicalVaporDeposition,TA-CVD),其原理是Si前驅(qū)物和摻雜氣體(dopinggas或dopantgas)在加熱的Si表面上發(fā)生熱輔助的非均勻分解。自從20世紀(jì)70年代,TA-CV (共 1338 字) [閱讀本文] >>