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1.3.4.2 外延橫向過度生長
薄膜太陽能電池

1.3.4.2 外延橫向過度生長圖片（共2張） :
1.3.4.2 外延橫向過度生長

        通過絕緣體(dielectricum)SiO2的開口(opening),外延橫向過度生長技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)Si的擇優(yōu)外延生長,如圖1.14(b)所示。通過熱氧化(thermaloxidation),得到的絕緣體SiO2具有掩蔽層(maskinglayer)的作用?；瘜W(xué)氣相沉積CVD的擇優(yōu)特性來自于控制Si蝕刻和Cl氣    （共 840 字）     [閱讀本文] >>

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