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2.4.2.1 生長速率
薄膜太陽能電池

2.4.2.1 生長速率圖片（共1張） :
2.4.2.1 生長速率

        常壓化學氣相沉積APCVD的前驅(qū)物是SiHCl3-H2系統(tǒng),對應(yīng)的生長速率,即沉積速率,依賴于沉積溫度、氣相成分和總氣壓,這很容易得到實驗的證實(demonstration)。為了確定最優(yōu)化的工作點和最優(yōu)化的反應(yīng)腔幾何設(shè)計,對沉積反應(yīng)建立分析模型不    （共 985 字）     [閱讀本文] >>

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2.4.2.1 生長速率 - 薄膜太陽能電池
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薄膜太陽能電池

2.4.2.1 生長速率圖片（共1張） :
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        常壓化學氣相沉積APCVD的前驅(qū)物是SiHCl3-H2系統(tǒng),對應(yīng)的生長速率,即沉積速率,依賴于沉積溫度、氣相成分和總氣壓,這很容易得到實驗的證實(demonstration)。為了確定最優(yōu)化的工作點和最優(yōu)化的反應(yīng)腔幾何設(shè)計,對沉積反應(yīng)建立分析模型不    （共 985 字）     [閱讀本文] >>

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