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2.4.2.2 化學(xué)產(chǎn)率
薄膜太陽能電池

2.4.2.2 化學(xué)產(chǎn)率圖片（共1張） :
2.4.2.2 化學(xué)產(chǎn)率

        常壓化學(xué)氣相沉積APCVD的化學(xué)產(chǎn)率,即Si的轉(zhuǎn)換效率,定義為初始?xì)庀郤i轉(zhuǎn)換為固相Si的效率。比較初始?xì)庀郤i/Cl摩爾比例和熱平衡狀態(tài)沉積溫度下最終的Si/Cl比例,可以給出Si沉積反應(yīng)理論上耗用的SiHCl3。用SiHCl3作為前驅(qū)氣體的初始Si/Cl比    （共 614 字）     [閱讀本文] >>

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        常壓化學(xué)氣相沉積APCVD的化學(xué)產(chǎn)率,即Si的轉(zhuǎn)換效率,定義為初始?xì)庀郤i轉(zhuǎn)換為固相Si的效率。比較初始?xì)庀郤i/Cl摩爾比例和熱平衡狀態(tài)沉積溫度下最終的Si/Cl比例,可以給出Si沉積反應(yīng)理論上耗用的SiHCl3。用SiHCl3作為前驅(qū)氣體的初始Si/Cl比    （共 614 字）     [閱讀本文] >>

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