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2.4.4 在陶瓷襯底上的硅沉積
薄膜太陽能電池

2.4.4 在陶瓷襯底上的硅沉積圖片（共4張） :
2.4.4 在陶瓷襯底上的硅沉積

        在SiO2或其他中間層上用SiHCl3通過常壓化學(xué)氣相沉積APCVD進行多晶硅沉積,是微電子領(lǐng)域的常規(guī)工藝。2.4.3節(jié)描述的反應(yīng)腔和工藝適用于異質(zhì)襯底晶體硅薄膜太陽能電池,在鍍有SiO2的Si襯底上沉積多晶硅層,之后經(jīng)過區(qū)熔再結(jié)晶ZMR形成籽晶    （共 1612 字）     [閱讀本文] >>

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        在SiO2或其他中間層上用SiHCl3通過常壓化學(xué)氣相沉積APCVD進行多晶硅沉積,是微電子領(lǐng)域的常規(guī)工藝。2.4.3節(jié)描述的反應(yīng)腔和工藝適用于異質(zhì)襯底晶體硅薄膜太陽能電池,在鍍有SiO2的Si襯底上沉積多晶硅層,之后經(jīng)過區(qū)熔再結(jié)晶ZMR形成籽晶    （共 1612 字）     [閱讀本文] >>

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