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第19問 什么是ESC
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        ESC是ElectroStaticChuck的縮寫,中文意思是靜電吸附卡盤。這個(gè)裝置設(shè)置在真空腔室中,使用靜電吸附玻璃基板。而所謂靜電吸附,是當(dāng)一個(gè)帶有靜電的物體靠近另一個(gè)不帶靜電的物體時(shí),由于靜電感應(yīng),沒有靜電的物體內(nèi)部靠近帶靜電物體的    （共 289 字）     [閱讀本文] >>

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