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 本章的目的是介紹化學氣相沉積的基本方面和技術意義。這一章并不是為了提供本領域全面的綜述而是著重于內在的原理。這將為讀者提供材料化學氣相沉積(CVD)方面關鍵性問題的正確評價,如這個領域是如何發(fā)展到現在的狀況的、 (共 3728 字) [閱讀本文] >>
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