1.5.1.2 對(duì)流輔助化學(xué)氣相沉積

作為最近發(fā)展的大規(guī)模生產(chǎn)工藝,對(duì)流輔助化學(xué)氣相沉積(ConvectionassistedChemicalVaporDeposition,CoCVD)可以有效地使用熱對(duì)流,以控制反應(yīng)腔中的氣體流動(dòng),并且通過對(duì)流回收未充分使用的氣體前驅(qū)物[90],如圖1.23所示。反應(yīng)腔與水平方向的夾角 ......（本文共 417 字 , 1 張圖）     [閱讀本文] >>