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1.5.1.2 對流輔助化學(xué)氣相沉積
薄膜太陽能電池

1.5.1.2 對流輔助化學(xué)氣相沉積圖片（共1張） :
1.5.1.2 對流輔助化學(xué)氣相沉積

        作為最近發(fā)展的大規(guī)模生產(chǎn)工藝,對流輔助化學(xué)氣相沉積(ConvectionassistedChemicalVaporDeposition,CoCVD)可以有效地使用熱對流,以控制反應(yīng)腔中的氣體流動,并且通過對流回收未充分使用的氣體前驅(qū)物[90],如圖1.23所示。反應(yīng)腔與水平方向的夾角    （共 417 字）     [閱讀本文] >>

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