1.5.2.2 分批式液相外延

如果大規(guī)模生產(chǎn)的液相外延LPE采用連續(xù)的在線式工藝,比不上分批式工藝,因為溶解的Si會不斷地減少,需要在每一次外延生長后更換溶液。在分批式液相外延(batchtypeliquidphaseepitaxy)中,將16片襯底同時浸潤在“無限源”(infinitesource)中,使 ......（本文共 433 字 , 1 張圖）     [閱讀本文] >>