2.3.4.2 工藝控制

我們已經(jīng)詳細(xì)地討論了區(qū)熔再結(jié)晶ZMR工藝中溫度梯度、生長(zhǎng)形貌和缺陷密度之間的關(guān)系。根據(jù)這些討論,結(jié)晶面溫度梯度的精確控制對(duì)生長(zhǎng)高質(zhì)量ZMR薄膜非常重要。雖然不容易直接測(cè)量溫度梯度的數(shù)值,但是利用熔化Si的反射率變化 ......（本文共 1239 字 , 2 張圖）     [閱讀本文] >>