2.4.3.1 反應(yīng)腔的開(kāi)發(fā)

微電子領(lǐng)域使用的外延反應(yīng)腔由于成本原因,不適合制備異質(zhì)襯底晶體硅薄膜太陽(yáng)能電池(參見(jiàn)2.4.2節(jié))。異質(zhì)襯底晶體硅薄膜太陽(yáng)能電池Si沉積的設(shè)備研究專(zhuān)注于:●大面積的分批式反應(yīng)腔;●高生產(chǎn)速率的連續(xù)在線(xiàn)式反應(yīng)腔。數(shù)個(gè)研究 ......（本文共 1530 字 , 1 張圖）     [閱讀本文] >>