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2.4.3.1 反應(yīng)腔的開發(fā)
薄膜太陽能電池

2.4.3.1 反應(yīng)腔的開發(fā)圖片（共1張） :
2.4.3.1 反應(yīng)腔的開發(fā)

        微電子領(lǐng)域使用的外延反應(yīng)腔由于成本原因,不適合制備異質(zhì)襯底晶體硅薄膜太陽能電池(參見2.4.2節(jié))。異質(zhì)襯底晶體硅薄膜太陽能電池Si沉積的設(shè)備研究專注于:●大面積的分批式反應(yīng)腔;●高生產(chǎn)速率的連續(xù)在線式反應(yīng)腔。數(shù)個研究    （共 1530 字）     [閱讀本文] >>

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        微電子領(lǐng)域使用的外延反應(yīng)腔由于成本原因,不適合制備異質(zhì)襯底晶體硅薄膜太陽能電池(參見2.4.2節(jié))。異質(zhì)襯底晶體硅薄膜太陽能電池Si沉積的設(shè)備研究專注于:●大面積的分批式反應(yīng)腔;●高生產(chǎn)速率的連續(xù)在線式反應(yīng)腔。數(shù)個研究    （共 1530 字）     [閱讀本文] >>

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