1.2.3 薄膜應力的微觀力學模型

所屬欄目：光學薄膜

1.2.3 薄膜應力的微觀力學模型

薄膜的內(nèi)應力主要來源于薄膜本身微結(jié)構(gòu)的變化,這種變化包含以下幾層含義:①薄膜與相應的薄膜材料具有相同的晶系,但是受沉積參數(shù)及其他因素的影響,薄膜的晶格常數(shù)或晶胞結(jié)構(gòu)發(fā)生了變化;②相對于體材料,薄膜具有多孔、低維 ......（本文共 1290 字 , 1 張圖）     [閱讀本文] >>


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