1.2.6 光學(xué)薄膜應(yīng)力發(fā)展的實時監(jiān)測

一般條件下,薄膜應(yīng)力的測量都是在薄膜制備以后,甚至是放置了很多天以后進(jìn)行。所得到的薄膜應(yīng)力是薄膜的終態(tài)應(yīng)力,它不僅包含了薄膜應(yīng)力發(fā)生發(fā)展的全部信息,還包含了薄膜制備之后,環(huán)境、時效及所有的物理化學(xué)過程對薄膜應(yīng)力 ......（本文共 6639 字 , 20 張圖）     [閱讀本文] >>