![4.2 光刻技術(shù)材料](https://imgs.zsbeike.com/imgs/I/I09437/w4-1(tp).jpg)
 在微電子器件制造領(lǐng)域,特別是用來制造高分辨率集成電路元件的光刻技術(shù),不斷取得重大進(jìn)步[1]。不久之前,最先進(jìn)的電路器件也僅有幾千個(gè)晶體管元件,其最小尺寸為5~6μm?,F(xiàn)在,具有幾百萬個(gè)晶體管單元的電路器件已經(jīng)可以商業(yè)化 (共 832 字) [閱讀本文] >>
海量資源,盡在掌握
 在微電子器件制造領(lǐng)域,特別是用來制造高分辨率集成電路元件的光刻技術(shù),不斷取得重大進(jìn)步[1]。不久之前,最先進(jìn)的電路器件也僅有幾千個(gè)晶體管元件,其最小尺寸為5~6μm?,F(xiàn)在,具有幾百萬個(gè)晶體管單元的電路器件已經(jīng)可以商業(yè)化 (共 832 字) [閱讀本文] >>