5.3 氣相沉積方法(與CVD相關(guān)和無關(guān)的工藝)綜述

所屬欄目：先進材料化學

5.3 氣相沉積方法(與CVD相關(guān)和無關(guān)的工藝)綜述

本節(jié)的目的是為不同的氣相沉積方法提供一個視角,其中包括這些方法的局限性、相對優(yōu)點和缺點。大多數(shù)薄膜沉積方法可以分為兩類:化學氣相沉積和物理氣相沉積。除了前面各節(jié)所提到的化學氣相沉積外,目前還有很多與CVD相關(guān)的 ......（本文共 7290 字 , 2 張圖）     [閱讀本文] >>


推薦內(nèi)容


科普

更多