三、電子束斑直徑與束流的關(guān)系

電子束的最終束斑尺寸dp直接影響圖像分辨率。人們總希望電子光學(xué)系統(tǒng)可以提供最小的束斑dmin,又可獲得最大的束流imax,這就必須建立imax～dmin之間的關(guān)系。最終束斑直徑dp從公式(5.2)導(dǎo)出:將各直徑分別代入上式:前兩項(xiàng)為衍射和球差 ......（本文共 577 字 , 4 張圖）     [閱讀本文] >>